클린룸에서 집진하는 부분인 필터

공조냉동기계기술사 제92회(2010년) 2교시 2-6번 · 25점

클린룸에서 집진하는 부분인 필터에 대해, 1) 미립자 포집 기구(Mechanism) 2) 입자의 직경에 따른 포착방법을 설명하시오. 그리고 여재가 자동으로 세정되거나 갱신되는 것을 Auto Filter라고 하는데 3) Auto Filter의 방식을 기술하시오.