반도체 클린룸에서 요구되는 청정도의 국제 규격(ISO 14644-1)과 공조방식

건축기계설비기술사 제137회(2025년) 3교시 3-3번 · 25점

반도체 클린룸에서 요구되는 청정도의 국제 규격(ISO 14644-1)과 공조방식에 대하여 설명하고, 오염물질 제어 방안 및 에너지 절감 방안에 대하여 설명하시오.