반도체공장 내 클린룸에 설치되는 FFU(Fan Filter Unit)

건축기계설비기술사 제126회(2022년) 2교시 2-4번 · 25점

반도체공장 내 클린룸에 설치되는 FFU(Fan Filter Unit)에 대한 다음 사항을 설명하시오. 1) 기능 및 구성 2) 장단점 3) 유지보수 기준