스물두줄

반도체 공장에서 사용하는 독성가스의 제독설비 중 습식처리에 의한 방법과 건식처리에 의한 방법

가스기술사 제98회(2012년) 4교시 4-3번 · 25점

반도체 공장에서 사용하는 독성가스의 제독설비 중 습식처리에 의한 방법과 건식처리에 의한 방법을 비교 설명하고, 장․단점에 대하여 설명하시오.

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