TFT-LCD 공정 중 막공정과 세정공정에서 다량 사용되는 실란(Silane), 포스핀(Phosphine)…
TFT-LCD 공정 중 막공정과 세정공정에서 다량 사용되는 실란(Silane), 포스핀(Phosphine) 및 불소(Fluorine)의 위험성과 안전취급 방안에 대하여 설명하시오.
모범답안 목차
- Ⅰ. 개요
- Ⅱ. 본론
- 가. 설비 및 저장
- 나. 누출 감지와 배기
- 다. 운전 절차
- 라. 보호구·비상대응
- Ⅲ. 결론
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